洁净室工程师培训教材（精简版）

  空气调节的基本概念 1、空气调节及其分类 空气调节就是使房间或封闭空间的温度，相对湿度，洁净度，和气流速度等参数均达到给定要求的技术。也在空气调节系统中，空气处理设备即空调器是实现空气热，湿交换和空气过滤净化的核心部分。一个房间或一个空间，在正常的情况下除了有来自该房间内部的围护结构，人员，灯具及设备产生的热，湿，粒子，微生物或其他有害物的干扰外，同时还有来自房间外部的大气，太阳辐射等的干扰。为了消除上述来自室内外的干扰，就一定要采取必要的技术方法，用在空气处理设备中经热，湿和过滤处理过的空气来转移，置换，稀释和冲淡来自方方面面对房间空气的干扰，来保证房间内一定要求的空气环境。空气调节的原例图见图一和图二。 图一 空气调节原理图 图二 净化空调原理图 空气调节按使用对象的不同又可划分为舒适性空气调节和工艺性空气调节。 舒适性空气调节就为了满足人们的舒适要求而设置的空气调节。 工艺性空气调节就是为满足生产工艺对环境空气参数的要求而设置的空气调节。环境空气的温湿度等参数均由生产工艺来决定。不同的生产工艺对环境空气参数的要求也不相同。 空气调节按使用对象的不同又可划分为舒适性空气调节和工艺性空气调节。 舒适性空气调节就是为了满足大家的舒适要求而设置的空气调节。 工艺性空气调节就为了满足生产的基本工艺对环境空气参数的要求而设置的空气调节。环境空气的温湿度等参数均由生产的基本工艺来决定。不同的生产工艺对环境空气参数的要求也不相同。 2、湿空气焓湿图及其应用 ①湿空气的焓湿 湿空气就是我们生活和工作的环境空气，就是生产和科学研究的环境空气。其主要成份是干空气和水蒸汽。所谓干空气就是不含水蒸汽的空气，其中有78%的氮气，21%的氧气和不足1%的氩气，氖气等惰性气体和少量的二氧化碳。在湿空气中虽然水蒸汽的含量非常少，但是它的作用却非常大。从某种意义上说调节湿空气中水蒸汽的含量就是空气调节的重要任务之一。 湿空气的焓湿图是用来表示湿空气的温度、相对湿度、含湿量和焓值等空气状态参数及其相互关系的线算图。是在一定的大气压力的条件下，以焓值为纵坐标含湿量为横坐标，其夹角为1350的线算图。图中有等温度线、等相对湿度线、等含湿量线和等焓值线。利用焓湿图可以表示空气调节处理过程中所发生的混合、加热、冷却、加湿、去湿等所有空气处理过程，并且利用焓湿图可以计算出空气处理过程中所需要的冷量、加热量、加湿量等各种用量。焓湿图见图三。 图三 湿空气的焓湿图 ② 焓湿图中的名词定义： a. 干球温度：就是用干球温度计测出的空气温度。 b. 湿球温度：就是用湿球温度计测出的空气温度。也就是说将温度计的水银球用浸水的纱布包裹起来，所测得的稳定的空气温度。湿球温度也就是相对湿度100%时的饱和温度。 c. 相对湿度：空气中实际的水蒸汽的分压力与同温度下饱和状态空气的水蒸汽的分压力之比。饱和水蒸汽的分压力为100%。 d. 饱和水蒸汽的分压力：空气中的水蒸汽不断增加达到饱和时，空气中的水蒸汽就会凝结成水由空气中分离出来，此时的温度为饱和温度，其相对湿度达到100%。 e. 露点温度：是在一定大气压力的条件下，某含湿量下的未饱和空气因温度不断地降低，相对湿度不断增加，达到饱和状态空气中的水蒸汽凝结成水珠，从空气中分离出来时的温度叫露点温度。也就是空气中的水蒸汽分压力随空气温度降低不断升高，达到饱和状态（100%）时的温度叫露点温度。 f.含湿量：即环境空气中1公斤干空气所含有水蒸汽的质量（g）。 g. 热湿比ε线：空调房间内的全热负荷与全湿负荷之比。 在电子工业产热量大、产湿量小的洁净厂房一般的热湿比8000~10000大卡/kg趋近正无穷大。 对于医院的洁净手术部的洁净手术室的热湿比大约在1800~2400大卡/kg。因为人多，人的产湿量大，但热负荷较小。 ① 焓湿图的应用 在焓湿图上可以划出空气调节系统中各种空气处理的过程线，并且可以在线算图上查出各种空气处理过程的空气参数和各种所需用量。 a. 等湿加热：空气含湿量不变条件下的加热。环境空气的干球温度升高，相对湿度降低。如：空气处理中用热水和蒸汽为热源的热交换器加热、电加热器的加热。ε为正的无穷大过程图线。见图四。 b. 等湿降温：空气含湿量不变条件下的降温。环境空气的干球温度降低，相对湿度增加但并未到露点，没有水凝结出来。如：空气处理中的干表冷。即送入表冷器中的冷冻水的初温高于空气露点。此时ε为负无穷大的过程线。见图五。 c. 等焓加湿：空气的焓值不变条件下的加湿。即空气和水直接并充分地进行热交换的过程。水吸收空气中的热量后部分水被蒸发成水蒸汽进入空气，空气失去热量温度下降。最终达到空气失去的热量等于空气中增加的水蒸汽的含热量。其空气的总热量（焓值）不变。过程线，过程线见图六。空气处理过程中淋水室（淋循环水）湿膜加湿、高压喷雾加湿、超声波加湿等加湿的过程线。 d. 生温去湿：空气的温度不断升高含湿量不断降低的过程。固体化学去湿的过程就是生温去湿的过程。即：固体吸湿剂吸收空气中的水分发生化学反应放热使空气温度升高，绝对含湿量降低，相对湿度也降低。过程线近似等焓线。常见的分子筛、氯化锂、硅胶等固体吸湿就是生温去湿过程。过程线见图七。 e. 等温加湿：空气干球温度不变条件下的加湿。向空气中喷入水蒸汽的过程就是等温加湿过程。空气的温度维持不变，直接将水蒸汽喷入空气变成空气中的水蒸汽。空气处理中常用的喷蒸汽、喷干蒸汽电极式、电热式的加湿器。过程线见图八。 f. 降温去湿（降温干燥）：空气的温度降低同时含湿量也减低的空气处理过程。向空气中喷淋低于空气露点的冷冻水，或将低于空气露点的冷冻水（冷媒）通入表面冷却器，与空气接触后，使空气温度降低而且还使空气中的水蒸汽遇冷凝结成水滴从空气中分离出来，使空气的温度降低,绝对含湿量减少。这是空气处理中最常用的降温去湿的方法，也是冷冻去湿的方法。过程线见图九。向空气中喷淋液体吸湿剂的处理过程也是降温去湿减焓过程，但工程中很少应用。 g.升温加湿：向空气中喷热水的处理过程，是升温加湿的过程。在工程中很少应用。过程线见图十。 h.空气的混合过程：两种不同状态的空气混合时，其空气的混合状态点在两种空气状态点的连线上。线段长度之比则为两空气质量之比。其过程线见图十一。 焓湿图上几种典型的空气处理过程见图十二。 湿空气状态的各种参数，如：干球温度，湿球温度，露点温度，相对湿度，含湿量和焓值等之间都是相互关连的，只要知道其中的两、三个参数在焓湿图上就可以确定湿空气的状态点。见图十三。 ④焓湿图的应用举例 一个洁净室的室内参数为N，送风参数为S，热湿比为ε，送风温差为Δt。全新风系统。夏季室外计算参数为Ws，冬季室外计算参数为Wd。现需将室外空气处理到送风参数点S后，用风管送到洁净室内就能满足洁净室的温、湿度要求。可以采取下面多种方法，对空气进行热，湿处理都能达到同一个目的。见图十四。 如：夏季空调空气处理过程可以有如下途径来实现： a. WS→L→S 用表冷器或淋水室将室外空气降温去湿减焓处理后再等湿再热。 b. WS→a→S 用固体化学去湿将室外空气生温去湿再干冷降温。 c. WS→S 用喷淋液体吸湿剂做降温、去湿、减焓处理。 又如：冬季空调空气处理过程可以有如下途径来实现： a. Wd→b→L→S 先用加热器对室外空气预热再等温加湿（喷蒸汽）然后用加热器再热。 b. Wd→c→L→S 先用加热器对室外空气预热再等焓加湿（湿膜等）然后用加热器再热。 c. Wd→d→S 先用加热器对室外空气加热再等温加湿（喷蒸汽）。 d. Wd→L→S 先用喷热水对室外空气升温加湿然后再热。 e.Wd→e→L1 3、空气调节的气流组织 空气调节气流组织设计的任务就是要合理地组织室内空气的气流流动，使工作区的温度，湿度，气流速度和洁净度能很好地满足生产和科学研究以及人们舒适感的要求。气流组织不合理不仅直接影响空调房间的空调参数和空调效果，而且还要空调系统的能耗。 空调系统送风出空气射流是影响室内气流组织的主要因素，而空调回风口，从流体力学角度是空气的汇流，起回风速度衰减很快，与其距离的平方成反比。因此回风口的位置对室内气流组织的影响比较小。 空气调节系统的气流组织形式主要有：上送下回，上送下侧回，上送上回，侧上送侧下回等形式。见图十五。 图十五 空气调节的气流组织 空气净化的基础知识 1．洁净室及其四大技术要素 根据生产和科研的要求对室内空气环境的洁净度、温度、相对湿度以及压力、噪声、振动、静电等参数都进行控制的房间叫洁净室或洁净厂房。 洁净室的四大技术要素就是：粗效，中效和高效三级过滤，足够的净化送风量，室内正压的建立和维持，以及終端高效或超高效过滤器的设置。 2．洁净室的应用和分类 洁净室可按气流流型和使用用途以及控制的主要对象来分类。 ⑴、洁净室按气流流型来划分 ① 单向流（层流）洁净室，其中又分垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。 图十六 单向流气流流型 ② 非单向流（乱流）洁净室 图十七 非单向流气流流型 ③ 混合流洁净室 图十八 混合流气流流型 ④ 矢流（对角流）洁净室 图十九 矢流气流流型 ⑤ 各种气流的特点、创造的洁净度、应用范围和投资运行费。 ▲ 单向流气流的净化原理是活塞和挤压原理，把灰尘从一端向另一端挤压出去，用洁净气流置换污染气流。包括有垂直单向流和水平单向流。 垂直单向流是气流以一定的速度（0.25m/s~0.5m/s）从顶棚流向地坪的气流流型。这种气流能创造100级、10级、1级或更高洁净级别。但其初投资很高、运行费很高，工程中尽量将其面积压缩到最小，用到必须用的部位。 水平单向流是气流以一定的速度（0.3m/s~0.5m/s）从一面墙流向对面的墙的气流流型。该气流可创造100级的净化级别。其初投资和运行费低于垂直单向流流型。 ▲ 非单向流气流的净化原理是稀释原理。一般型式为高效过滤器送风口顶部送风；回风的型式有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。依不同送风换气次数，实现不同的净化级别，其初投资和运行费用也不同。 ▲ 混合流气流是将垂直单向流和非单向流两种气流组合在一起构成的气流流型。这种气流的特点是将垂直单向流面积压缩到最小，用大面积非单向流替代大面积单向流以利节省初投资和运行费。 ▲ 举例给出不同气流流型的送风量、耗冷量、初投资和运行耗电的具体指标见表一，此指标是以电子工业洁净厂房为代表，具体数据有参考价值，但不能随便套用。 表一 不同洁净级别洁净厂房的送风量、冷量投资耗电的指标 气流流型 洁净级别 （级） 送风量 （m/s）（次/h） 耗冷指标 （W/m2） 投资指标 （元/ m2） 耗电指标 （W/m2） 单向流 垂直 10 100 0.25m/s 1300~1500 10000~13000 1.25~1.35 水平 100 0.3m/s 800~1000 5000~6000 0.9~1.0 非单向流 1000 50~60次/h 600~700 2800~3000 0.25~0.33 10000 25~30次/h 500~600 2000~2200 0.22~0.26 100000 15~20次/h 350~400 1400~1600 0.13~0.16 注：表中的送风量、单向流以断面风速表示，非单向流以换气次数表示。 表中冷量指标一般指电子工业洁净厂房。 表中的初投资包括洁净厂房的围护、冷冻供应系统、空调净化系统，不含土建结构和自动控制的投资。 表中的耗电量系指制冷系统和空调送风系统耗电，不含电加热和电加湿的耗电量。 ⑵、按使用的用途或控制的主要对象划分 ① 工业用洁净室：以控制灰尘为主要对象。用于电子、航天、机械、化工、化学制药……。 ② 生物洁净室：以控制细菌（微生物）为主要对象。用于生物制药、医疗、食品、生物工程、动物饲养、生物安全等……。 3．洁净室与一般空调的差别见表二 表二 洁净室与一般空调的差别 比较项目 一般空调 净化空调 原理 送风和室内空气充分混合以达到室内温湿度均匀 乱流为稀释原理，层流为活塞原理，送出的洁净室空气先达工作区，罩笼洁净工作区 目的 为了控制温度、湿度、风速和空气成份的目的 除了一般空调的目的之外，更重要的是控制粒子的浓度 手段 粗、中效过滤加热湿交换 除空调手段外还要加高效、超高效过滤器，对微生物还要有灭菌措施 送风量 （次/h） 一般降温空调8~10次/h 一般恒温空调10~15次/h 单向流400~600次/h 非单向流15~60次/h 初投资 （元/m2） 一般降温500元/m2 一般恒温800元~1000元/m2 单向流5000~15000元/m2 非单向流1500~3000元/m2 运行耗电 （Kw/m2） 一般降温0.04~0.06 Kw/m2 一般恒温0.08~0.10 Kw/m2 单向流0.9~1.35 Kw/m2 非单向流0.13~0.33 Kw/m2 冷量指标 （W/m2） 一般降温150~200 W/m2 一般恒温200~250 W/m2 单向流800~1500 W/m2 非单向流350~700 W/m2 仅供参考（南社建议） 4．工业洁净室与生物洁净室的差别见表三 表三 工业洁净室与生物洁净室的差别表 比较项目 工业洁净室 生物洁净室 研究对象 （主要） 灰尘、粒子只有一次污染。 微生物、病菌等活的粒子不断生长繁殖，会诱发二次污染（代谢物、粪便）。 控制方法 净化措施 主要是采取过滤方法。粗、中、高三级过滤，粗、中、高、超高四级过滤和化学过滤器等。 主要是采取：铲除微生物生长的条件，控制微生物的孳生、繁殖和切断微生物的传播途径。过滤和灭菌等。 控制目标 控制有害粒径粒子浓度。 控制微生物的产生、繁殖和传播，同时控制其代谢物。 对生产的基本工艺 的危害 关键部位只要一颗灰尘就能造成产品的极大危害。 有害的微生物达到一定的浓度以后才能够成危害。 对洁净室建筑 材料的要求 所有材料（墙、顶、地等）不产尘、不积尘、耐磨擦 所有材料应耐水、耐腐且不能提供微生物孳生繁殖条件。 对人和物进入 的控制 人进入要换鞋、更衣、吹淋。物进入要清洗、擦拭。人和物要分流，洁污要分流。 人进入要换鞋、更衣、淋浴、灭菌；物进入要擦拭、清洗、灭菌；空气送入要过滤、灭菌，人物分流，洁污分流。 检测 灰尘粒子可用粒子计数器检测瞬时粒子浓度并显示和打印。 微生物检测不能测瞬时值，须经48小时培养才能读出菌落数量。 5．洁净度的等级标准ISO-14644 ISO-14644是国际标准，原来我们熟悉的100级、1000级、10000级和100000级都是源自美国联邦标准FS 209B，现在它们分别被国际标准ISO-14644标准中的5级、6级、7级和8级所替代。 ISO-14644的洁净度等级标准列表四如下。 表四 洁净室及洁净空气中悬浮粒子的洁净度等级ISO-14644 空气洁净度等级（N） ≥表中粒径的最大浓度限值（个/m3） 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm 1 10 2 / / / / 2 100 24 10 4 / / 3 1000 237 102 35 8 / 4 10000 2370 1020 352 83 / 5 100000 23700 10200 3520 832 29 6 1000000 237000 102000 35200 8320 293 7 / / / 352000 83200 2930 8 / / / 3520000 832000 29300 9 / / / 35200000 8320000 293000 注：① 每点应至少采样3次。 ② 本标准不适用于表征悬浮粒子的物理、化学、放射及生命性。 ③ 根据工艺要求可确定1~2粒径。 ④ 根据要求粒径D的粒子最大允许浓度由下式确定（粒径0.1μm~5μm） （个/m3） 式中N为洁净度等级在1~9级中间可以0.1为最小单位递增量插入。 国标洁净等级标准ISO- 14644与各国洁净度等级标准的比较见表五。 表五 国际标准ISO-14644与各国标准的比较表 国际标准 ISO-14644 中国标准 GB 50073 美国标准 FS 209E 俄国标准 TOCT 50766 日本标准 TIS 9920 德国标准 / / / P0 / / 1 1 / P1 1 1 2 2 / P2 2 2 3 3 M1.5 P3 3 3 4 4 M2.5 P4 4 4 5 5 M3.5 P5 5 5 6 6 M4.5 P6 6 6 7 7 M5.5 P7 7 7 8 8 M6.5 P8 8 8 9 9 / P9 / 9 洁净室的竣工验收调试，性能测试和洁净室的综合评价 竣工验收的调试工作要分以下四个步骤进行。 ①试前的准备工作。 ②机试车。 ③联动调试。 ④洁净室的性能测试和综合评价。 （一）调试前的准备工作 1、调试的组织准备： 2、编制调试大纲 3、施工现场质量的会检。 4、空调设备、空调系统的清扫： ①调试之前对洁净室进行全面、彻底的清扫是十分必要的。 ②安装粗效、中效过滤器进行第一次空吹。 ③安装高效过滤器。系统空吹后可以安装高效过滤器。被检合格的高效过滤器方能进行安装，安装完毕后对高效过滤器的安装密封再进行检漏（利用尘埃粒子计数器扫描），达到安装合格。 ④高效过滤器安装检漏合格后再对净化空调系统进行第二次空吹。空吹时间24小时，然后方可进行入调试程序。 5、测试仪器、仪表、工具的准备 ①调试前要对调试中所用的仪器仪表进行调试和标定（超过使用时间还需重新进行标定）。 ②调试所用的器材、工具的准备。如：电工工具、管工工具、扳金工工具、钳工工具以及爬高上下的梯子等。并且请施工单位配合电工、管工、扳金工和钳工。 ③调试和测试工作所用的图纸和记录表格的准备。 （二）单机试车 单机试车是对工程中的所有的设备、配件等单体进行试车。单机试车的目的是对这些设备、配件的安装质量和产品出厂质量的检查和考核。单机试车的主要内容有： 水、电先行。即首先对供水供电的设备和系统进行检查和考核。如水泵、变压器、配电箱、开关等。要保证供水、供电的正常、可靠。 进而，对供冷设备（冷冻机、冷却塔、冷冻水泵、冷却水等）、供热设备（锅炉、换热器、热水泵等）、空调设备（表面冷却器、加热器、加湿器、过滤器、风机等）、自动控制设备、仪表、阀门以及各系统的配件进行单体考核。 对于大型设备如冷冻机、锅炉、空调器等（尤其是进口设备）在单机试车时最好有生产厂家的调试人员现场指导或由生产厂家负责试车，待运转正常后再移交给使用单位。单机试车为联动调试做好各个单体设备的准备工作。 （三）联动调试 联动调试一般情况下分为两个阶段进行，即风量分配阶段和联动调试阶段。 1、风量分配： 风量分配即将各个洁净室的送风量、回风量、新风量、排风量全部按设计要求调整到设计风量。因为一个洁净厂房可能有多个空调送风系统和排风系统，或一个空调送风系统要负担多个洁净室的送风。 标准风口法：一个洁净室可能有几个、几十个空调送风口、回风口。因为它们之间都是相通的，当调整某一个风口送风的风量时其他送风口的风量也会跟其变化。因此，采用标准风口法。 所谓标准风口法，就是在风量分配之前，将所有阀门都开到最大的情况下，在所有的送风口这中找到最不利的送风口（送风量最小的送风口），将此风口作为标准风口。在标准风口上设一监测仪表，随时测试标准风口的风量变化。然后调整其它所有风口风量。 当一个净化空调系统负责多个洁净室空调时，调试要以洁净室为单位由末端向总干管方向进行，对各洁净室首先调整其送风量的相对关系量，然后，再用系统的总阀门来将每个送风口，每个洁净室的送风量都调整为线、联动调试 联动调试在风量调整和单机试车后进行。联动调试就将净化空调系统和为净化空调系统服务的所有系统即：供冷系统（冷冻机、冷却塔、水泵以及供冷系统上所有的配件）、供热系统（锅炉、水泵以及供热系统上所有配件）、供电系统（配电箱、变频器……）和自动控制系统全部投入运行，考核各系统的综合性能和联动性能。 （四）洁净室的性能测试和综合评价 在风量调整和联动调试的基础上，洁净室空调净化系统以及为其服务的所有系统，均处于正常运行状态。接着进行洁净室的性能测试和综合评价。 1、洁净室的性能测试： 洁净室性能测试内容包括： 洁净度测试、风量测试、正压测试、风速测试（单向流洁净室 ）温度、相对湿度测试、噪声测试等。 ①洁净度测试：采样点布置在工作面上（0.8~1.0m），采样点数量N=A1/2（A是洁净室面积‘m2’）。尘埃粒子计数器的采样量要大于1升/分；每个采样点连续有效采样三次。取其平均值做该点的测量值。全部测点的测量值的平均值作为洁净室的洁净度。 ②风量或风速测试：单向流洁室测量断面风速、非单向流洁净室测其风量。 断面风速的测量：距吊顶上送风高效过滤器（HEPA）300mm处布置测点，测点间距为600mm，用热球风速仪测其各点风速。 风量测试：在送风管或送风口上测送风风量。方法是用比托管和微压差计，测风管内各点的动压，测点间距为100mm。再计算送风量。 ③正压测试：在关门的状态下，测洁净室的正压。采用补偿式微压计测量。 2、洁净室的综合评价。 在对洁净室性能测试的基础上，根据对洁净室洁净度、温、湿度、正压、风量、噪声等测试结果，对洁净室的建设和性能进行竣工验收的综合评价。 以下为洁净室的性能测试部分，略，请点击查阅原文...（一）过滤器的基本知识及其维护管理 1，过滤器的基本知识 过滤器是洁净室的主要净化设备，是空气净化的主要手段。因此，对于从事洁净室设计、建造和维护管理人员了解和掌握过滤器的基本知识是十分重要的。 a、过滤器的分类 按过滤器的性能（效率、阻力、容尘量）来划分，通常将其划分成粗效、中效、高中效、亚高效、高效（HEPA）和超高效（ULPA）六类过滤器。 我国国家标准《空气过滤器》GB/T 14295-93中将不同过滤器的效率和阻力规定如下： 表 过滤器的效率和阻力（GB/T 14295-93） 性能指标 性能类别 额定风量下的大气尘限径计数效率 （E %） 额定风量下的初阻力 （Pa） 粗效 ≥ 5.0μm 80 E 20 ≤ 50 中效 ≥ 1.0μm 70 E 20 ≤ 80 高中效 ≥ 1.0μm 90 E 70 ≤ 100 亚高效 ≥ 0.5μm 99.9 E 95 ≤ 150 国家标准《高效空气过滤器》GB 13554-92中规定将高效过滤器按性能划分为A、B、C、D四类。D类又通称为超高效过滤器（或称为0.1μm高效过滤器或超低透过率过滤器）。 表 过滤器的效率和阻力（GB 13554-92） 性能指标 性能类别 效 率 （E %） 额定风量下的初阻力（Pa） A 额定风量下的钠焰效率 ≥ 99.9 ≤ 190 B 额定风量和20%额定风量下的钠焰效率 ≥ 99.99 ≤ 220 C 额定风量和20%额定风量下的钠焰效率 ≥ 99.999 ≤ 250 D 额定风量和20%额定风量下的≥0.1μm粒子效率 ≥ 99.999 ≤ 280 国外将超高效过滤器（ULPA）的过滤效率指标规定为对于≥0.12μm粒子的过滤效率E≥99.9995%。 关于我国和欧美对过滤器的分类比较如下： 表 过滤器的分类表 我国标准 GB/T 14295 一般通风用 洁净室用 粗 效 中效 高中效 亚高效 高 效 超高效 美国 ASHRAE标准 C1 C2 C3 C4 L5 L6 L7 L8 M9 M10 M11 M12 M13 M14 H15 H16 UH17 UH18 UH19 UH20 欧洲新标准 G1 G2 G3 G4 F5 F6 F7 F8 F9 H10 H11 H12 H13 H14 U15 U16 U17 欧洲老标准 EU1 EU2 EU3 EU4 EU5 EU6 EU7 EU8 EU9 EU10 EU11 EU12 EU13 EU14 效率E（%） 65 80 90 60 80 90 85 95 99.5 99.95 99.995 99.9995 99.99995 计重法 比色法 MPPS法（DOP法） b、过滤器的过滤机理 过滤机理主要有拦截（过筛）、惯性碰撞、布朗扩散和静电等。 ① 拦截：即过筛。大于筛孔的粒子拦截下来被过滤掉，小于筛孔漏过去。 一般对大粒子有作用，效率很低，是粗效过滤器的过滤机理。 ② 惯性碰撞：粒子尤其较大粒子随气流流动，作无规则运动。由于粒子的惯性或某种场力作用偏离气流方向，不随气流运动，而与障碍物碰撞、粘住而被过滤掉。粒子越大，惯性越大，效率越高。一般是粗效和中效过滤器的过滤机理。 ③ 布朗扩散：气流中的微小粒子做无规则的布朗运动，与障碍物撞击被钩留粘住，而被过滤掉。粒子越小，布朗运动越强，与障碍物撞击机会越多，效率越高。这也被称作扩散机理。这是亚高效、高效和超高效过滤器的过滤机理。且纤维直径越接近粒子径效果越好。 c、过滤器的性能 过滤器性能一般包括过滤效率E；初阻力Hc；容尘量g。 ① 过滤效率 E = 被过滤器过滤掉的（捕集的）粒子量/未过滤前空气中粒子总量×100% 一般而言：≤0.1µm粒子主要作布朗扩散运动，粒径越小，效率越高。 0.5µm粒子主要作惯性碰撞运动，粒径越大，效率越高。 0.1 d 0.5µm之间的粒子其过滤效率有一个最低点，即最大穿透率的粒径。 ② 初阻力Hc：气流绕纤维运动产生微小阻力，无数微小阻力之和即滤料对空气的阻力。过滤器的阻力与气流速度有关，速度越大，阻力越大。 过滤器的阻力分为初阻力（Hc）和终阻力（Hz）。 初阻力（Hc）是过滤器器开始使用时额定风量下的阻力。 终阻力（Hz）是过滤器更换时的阻力。一般Hz = 2×Hc。 ③ 容尘量g：过滤器到达终阻力时在滤料上所容纳的灰尘重量。 d、滤速 滤速是指空气垂直于滤料方向穿过滤料的速度。不是过滤器迎面风速。 滤速越大粒子惯性力越大，对粗、中效过滤器而言效率越高，但滤速越大，过滤器对空气的阻力也越大。所以一般粗效过滤器滤速为1~2 m/s，中效过滤器的滤速0.2~1 m/s。 滤速越大，不利于微小粒子的布朗运动，因此对高效、超高效过滤器的滤速一般控制在0.02 m/s左右。 e、过滤器滤料和结构形式 粗效过滤器的滤料一般为：玻璃纤维、化纤、无纺布等其结构型式多为板式、折叠式和袋式。 中效过滤器的滤料一般为玻璃纤维、化纤、无纺布等其结构型式多为袋式、楔形折叠式。 高效过滤器的滤料主要是超细玻璃纤维滤纸。结构型式均为折叠式。有有隔板和无隔板之分。 f、过滤器的使用和更换 ① 过滤器的使用 粗效、中效、高中效、亚高效、高效、超高效6种过滤器各有各的用途，必须正确使用，相关课件见南社百科。 粗效过滤器是作为预过滤器使用，一般是设置在空调箱内，其作用是过滤大颗粒的粒子，以保护其后的空调设备（如表冷器和加热器等）和中效以及更高级过滤器。一般粗效过滤器不能作为终端过滤器。 中效过滤器一般设在空调箱的正压段，其作用是保护亚高效、高效过滤器等终端过滤器。它除去的是≥1.0µm的中小粒子。一般情况下，中效过滤器是中间过滤器，不能做预过滤器用，也不能做终端过滤器。 高效和超高效过滤器都做为净化系统的终端过滤器。一般放置在洁净室的吊顶上。高效过滤器（HEPA）是洁净室的必须的终端过滤器。而超高效过滤器是0.1µm，10级、1级或更高级别洁净室必须的终端过滤器。 ② 过滤器的更换 过滤器经过一段时间的运行，当过滤器的阻力达到其终阻力Hz时，一般情况下就要更换了，否则其性能就会下降，达不到应起的作用，甚至会影响系统的正常运行。 对粗、中效过滤器而言，有一次性使用后废弃的也有可清洗后继续使用的，不过清洗后的粗、中效过滤器的阻力远比其初阻力大，效率也有所提高。 然而亚高效、高效和超高效过滤器都是一次性的，使用后就废弃的。 (二)、洁净室的发尘源和洁净室的清埽： 1、洁净室的发尘源 对于洁净室的尘源，除了来自室外大气的尘粒和进入洁净室的人和物携带的灰尘之外，洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员，洁净室的围护和洁净室内生产的基本工艺设备和生产过程的产尘。 ① 洁净室内作业人员的产尘。通常情况下，一般电子装配工艺穿全身型洁净工作服轻微动作时，人员的产尘量为3.5 ~ 5.0×105个/人·分（≥0.5µm）。是洁净室内的最主要的发尘源。 ② 洁净室围护和室内表面的产尘。一般认为洁净室单位建筑面积产尘为3 ~ 5.0×104 /m2·分（≥0.5µm）。可见10平方米建筑产尘只相当一个作业人员的产尘量。 ③ 生产设备和生产过程的产尘：不同设备、不同生产工艺的产尘量差别极大。在日本的资料介绍，一台电动机的产尘量大约为4.5 ~ 45×104个/台·分（≥0.5µm）。 2、洁净室的清扫 ① 人工擦拭法：即人用洁净室专用擦布和纯水对洁净室的地、墙、顶以及家具和设备表面进行擦拭。这种清扫方法较为彻底。 ② 分散式真空吸尘法：一般此方法只适用于低级别（1000级、10000级、100,000级）乱流洁净室。方法简单、灵活、方便，每天下班后均可采用此方法清扫。但由于移动式真空吸尘器内的圆筒形高效过滤器的效率比较低（≥99.5%，≥0.5µm），因此不适用在高级别的洁净室。一般情况500 m2洁净室可设两台吸尘器，每增加500 m2增加一台，最多不超过10台。 ③ 集中式真空吸尘法：集中式真空吸尘是一个由吸尘口、管网、集中吸尘泵、除尘器组成的系统。吸尘泵和除尘器设在专门的机房内，因噪声极大，机房不但要远离厂房和办公区，而且还要适当地作隔声消声处理。 集中式真空吸尘不会影响室内的洁净度，因此，集中式真空吸尘方法多用在级别较高（100级、10级、1级），面积较大的洁净室中。 洁净室的清扫制度在一般情况下，每班（每天）小清扫一次；每周中清扫一次，每月大清扫一次。并且要设专人负责管理、监督和检查。还要有一定的培训制度。 （三）洁净室的空气品质： 影响洁净室内的空气品质的因素很多。如：洁净室内的新鲜空气量的大小；室内含氧量的多少；室内的负离子数量；室内装修安装等材料和生产过程产生的低浓度分子级的化学污染物的情况以及生产过程中散发的酸、碱、有机等废气都会影响洁净室内的空气品质。 1、洁净室内的新鲜空气量 《洁净厂房设计规范》50073-2001中规定“保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。” 根据平衡方程式：人们工作正常呼吸排出的CO2量 M = 0.03 m3 /人·h 新鲜空气中CO2的含量 C0 = 0.0003 m3/m3空气 洁净室内空气允许的CO2含量 C = 0.001 m3/ m3空气。 故：洁净室内人们正常工作所需的新鲜空气量 L新 = M/C-C0 L新 = M/C-C0= 0.03/0.001- 0.0003 = 42.86 m3/人·h 因此，新鲜空气量按规范要求是可行的。新鲜空气量太小不利于洁净室内作业人员的健康，若新鲜空气量太大，运行能耗太大，运行的成本太高不经济。但最小不低于40m3 /人·h。 2、洁净室空气中的负离子量 ①一般空气中的离子分为小离子、中离子和大离子三类。小离子是由3~12个带有基本电荷的分子组成的复合物（如：等）；中离子是大约由100~1000个分子组成的复合体，一般寄存在微粒子上；大离子是由106个分子聚合在一起的凝聚核。 表 空气中的负离子含量表（个/ cm3） 离 子 半径（mm） 基本电荷 寿 命 公园和田野中的数量（个/cm3） 小离子 6×10-5 ± 1 30~300秒 （1~10）×103 中离子 （1-5）×10-4 ± 1 分~时 （1~10）×103 大离子 10-2 ≤±10 天~周 （1~100）×103 ② 空气中负离子对人体的作用 其实负离子是空气中带有负电荷的分子，负氧离子是带负电荷的氧分子。是空气电离产生的。在自然界中雨过天晴、森林、瀑布、海边的空气中负离子含量多。实验证明：空气中的负离子与呼吸器官接触时，促使人体呼出CO2和吸入O2的量增多，这就意味着对人体有一定的好处。 在洁净室中的空气是经过粗、中、高效过滤器过滤的空气，所以洁净室空气中的负离子含量几乎为零。也是在洁净室内人们感觉不舒服的一个原因。 3、洁净室空气中的其他化学成份 洁净室尤其电子工业用的洁净室由于室内装修材料以及生产用的原材料（各种气体、溶剂等）和生产过程排放的废气（含酸、含碱、含有机等化学污染物）等都会向洁净室空气中散发大量的化学物质，不仅影响洁净室内的空气品质，也会污染室外大气。 因此，在设计、建造和使用洁净室时要重视和处理好工艺设备的局部排风和废气的治理。不仅工艺设备本身要加强密封，而且，还要加强通风，提高排风效果，作好气流组织，使洁净室内的空气品质得以改善。 （四）洁净工作服及其管理： 洁净工作服也称作无尘服（无菌服）是洁净室内工作人员的专业服装。洁净工作服对其衣料的要求很严格，服装的型式也根据洁净室洁净度的不同而不同。 1，洁净工作服的衣料(南社百科有简介) 洁净工作服的衣料多为长纤维防静电的尼龙或聚脂材料。 洁净工作服对衣料的要求（摘自“空气洁净”99年第一期） 表 洁净工作服的材料特性 要 素 要 求 有利于洁净度 不产尘、纤维剥离疲劳断丝时也不产尘，有过滤性能不透尘 防静电好 在低温、低湿条件下制电性能好，不产生静电，灰尘难以附着 生物学特性好 经灭菌处理后有持久的延续性，耐灭菌性能好 化学性能有耐久性 宜缝制，耐反复洗涤，易清洗，易着色。耐腐蚀性强 穿着舒适性好 柔性好、透气性好、手感好，有吸湿性、伸缩性、保温性 不透明性好 洁净服穿着时看不见内部的衣服 2，洁净工作服的型式： a、连体型（全身）：帽子、上衣、裤子、鞋套等集中连成一体，还配有手套、口罩、眼罩等，一般多用在高级别洁净度的洁净室内。 b、分体型：帽子、上衣、裤子、鞋套四件分开型。多用于洁净度较低的洁净室。 c、大褂型：有帽子、大褂、拖鞋，没有裤子。用于低洁净度洁净室和准洁净室。 （五），洁净区厕所的设置： 1，在我国“洁净厂房设计规范”GB 50073-2001中规定“洁净区内不宜设厕所，人员净化用室内的厕所应设前室”；在人员净化程序图中，将厕所设在门厅内换鞋区之前，其目的是避免厕所对洁净区带来污染。 这一设置位置会给洁净室内作业人员上厕所带来很大的麻烦，要上厕所由洁净室出来要经过更衣，换鞋，方便以后回洁净室还要经过换鞋，更衣，吹淋等人身处理程序。但是，为了保证洁净区的卫生和洁净还必须这样执行。 2，洁净厕所 在日本参观时见过“洁净厕所”。它是带有排风负压的100级层流卫生间，内设便器、洗手盆、烘手器全是自动化的，便后不能用卫生纸（也没有卫生纸），而是用热水冲洗，热风烘干。这样的厕所就直接放在洁净室旁边，作业人员上厕所无须经过更衣、换鞋等程序，给作业人员带来极大方便。 （六）值班风机的设置： 1，设置值班风机的目的 设置值班风机是为了在洁净室不工作时，其净化空调系统停止运行的情况下，为了确保洁净室的洁净度不受外界污染空气的破坏，必须维持洁净室内的一定的正压设置值班风机。 2，我国目前值班风机设置的状况 我国目前工厂的洁净室一般都不设置值班风机系统。因为，三班制全年连续运行的洁净室不须设值班风机。 3，洁净室的自净时间 单向流洁净室的净化原理是活塞原理，换气次数很高，一般400~600次/时（6~10次/分）将污染空气由送风侧挤压到回风侧，因此自净的时间很短。一般30秒~60秒即可自净完毕。 非单向流洁净室它的净化原理是均匀扩散的稀释原理，而且其送风的换气次数较单向流少得多，根据净化级别不同换气次数不同，一般换气次数为15~60次/时。因此，自净时间较长。一般非单向流的自净时间为15~30分钟，净化级别越低，送风量越少，自净时间越长。 （七），吹淋室的吹淋效果：请见南社相关百科。 （八），洁净室的正压的维持： 1，维持洁净室正压的目的 “不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5Pa，洁净区与室外的压差应不小于10Pa”。 维持洁净室的压差是为了防止周围比它低级别的洁净空间、非洁净空间或室外空气的渗入和倒灌，影响洁净室洁净度的重要措施。洁净室失去了正压，也可以说失去了洁净度，不称其洁净室了。洁净室的正压是指洁净室门窗关闭条件下的正压值。 2，洁净室的正压漏风量 洁净室正压是通过调节洁净室送风量要比回风量与排风量之和大一个正压漏风量而实现的。 洁净室的正压漏风量的大小，不仅与维持的正压值的大小有关，还与洁净室的密闭程度有关。 洁净室的正压漏风量可用缝隙法计算，也可用换气次数估计。 缝隙法宜按下式计算： L正 =a•Σ（g•l） 式中：L正 =维持洁净室的正压值所需的正压漏风量。（m3/h） a = 围护结构密封性的安全系数 a = 1.1~ 1.2 g = 洁净室为某一正压值时，围护结构单位长度缝隙的正压漏风量。（m3/h·m） l = 围护结构的缝隙长度。 围护结构单位长度缝隙的正压漏风量q（m3/h·m） 门窗形式 压差（Pa） 非常闭门 密闭门 单层固定密闭钢窗 单层格式密闭钢窗 传递窗 壁板 5 17 4 0.7 3.5 2.0 0.3 10 24 6 1.0 4.5 3.0 0.6 15 30 8 1.3 6.0 4.0 0.8 20 36 9 1.5 7.0 5.0 1.0 25 40 10 1.7 8.0 5.5 1.2 30 44 11 1.9 8.5 6.0 1.4 35 48 12 2.1 9.0 7.0 1.5 40 52 13 2.3 10.0 7.5 1.7 45 55 15 2.5 10.5 8.0 1.9 50 60 16 2.6 11.0 9.0 2.0 换气次数表 压差（Pa） 密封性能 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 有外窗密封性较差 0.9 1.5 2.2 3.0 3.6 4.0 4.5 5.0 5.7 6.5 有外窗密封性较好 0.7 1.2 1.8 2.5 3.0 3.3 3.8 4.2 4.7 5.3 无外窗土建围护 0.6 1.0 1.5 2.1 2.5 2.7 3.0 3.2 3.4 3.6 3，维持洁净室正压的方法 a、设机械余压阀，调节平衡重锤可使正压维持在所需的正压值，此方法简单方便，一般余压阀设置在洁净室的下风向侧，洁净室正压超过规定值时余压阀自动开启排风。这种方法较为常用。 b、用洁净室的正压值自动控制新风量和回风量，使之正压漏风量自动稳定在某一个数量，来稳定洁净室规定的正压值。这一方法较为先进，但投资较高。 c、用回风口加过滤网加阻尼的办法来实现洁净室的正压。方法简单，但维护很难，正压值很难维持不变。 （九）洁净室的消毒和灭菌： 1，消毒和灭菌的定义 消毒：是灭掉对人体有害的微生物、病菌、病毒。 灭菌：是灭掉一切的微生物。不管对人体有害、有益的微生物。 2，消毒和灭菌的方法 a、药物法：是用无菌药物擦拭、喷雾和熏蒸的方法进行消毒灭菌，这些药物都具有一定的腐蚀性，因此要求被灭菌的表面都要有较好的耐腐蚀性能。 灭菌药物： ① 乙烯氧化气体进行熏蒸。25℃，30%相对湿度，8~16小时。有一定毒性。 ② 过氧乙酸。浓度2%喷雾。25℃，20分钟。有一定腐蚀性。 ③ 丙烯酸气体熏蒸。25℃，相对湿度80%。用量7g/ m3。有一定毒性。 ④ 甲醛气体熏蒸。25℃，相对湿度80%。用量35ml/m3。有一定毒性。 ⑤ 气体熏蒸。25℃，相对湿度10%。10分钟。有刺激性。 b、紫外线照射：紫外线 Å的紫外线的杀菌能力最强。紫外灯的杀菌能力会随时间的增加而减弱；一般以点燃100小时的输出功率为额定输出功率，当紫外灯燃点到70%额定功率的点燃时间规定为紫外灯的平均寿命，紫外灯超过平均平均寿命后达不到预期的灭菌效果，应更换紫外灯。 紫外灯的灭菌效果还随菌种不同而不同，杀灭霉菌的照射量相当于杀灭杆菌照射量的40~50倍。紫外灯的灭菌效果还与空气的相对湿度有关，相对湿度为60%是设计值，当相对湿度超过60%时，尚须加大照射量。 紫外灯照射应在无人的状态下进行，因为对正常人体有定的伤害，紫外灯灭菌照射表面效果较好，但对流动的空气灭菌作用不大。 c、高温和高压蒸汽灭菌：高温干热灭菌温度一般为160 ~ 200℃。2小时才能达到灭菌目的；高压蒸汽湿热灭菌当温度为121℃时灭菌时间只为15~ 20分钟。 d、其他还有溶菌酶、纳米以及射线照射等灭菌方法。但最常用的是过滤器过滤方法灭菌，过滤器在过滤灰尘粒子的同时也将寄附在灰尘上的细菌和微生物过滤掉了。 （十），洁净室内的颜色处理： 1，国内的一般情况 目前国内所建的洁净室其墙和顶大多都是用彩钢板围成的，以浅色、月白色为多。地板多为抗静电塑料板或抗静电还氧自流平材料，颜色多为绿色和暗红色等较深的颜色。洁净室内部的颜色一般以人们的视觉感观舒服，长期在室内工作不易疲劳，精神集中，生产效率高为原则。另外浅色的围护还可以提高室内的照度。一般灯具布置25 ~ 30w/ m2时室内照度可达800 ~ 1000Lx。 2，特殊的情况 国内有个别工厂是按工艺的不同区划，不同洁净度来确定洁净室内围护的不同颜色。同一个区域内的墙、顶、地以及作业人员穿着的工作服全部都是同一种颜色，不同区域的颜色不同。这样划分界限分明便于管理。 如北京某一制药厂将生产的基本工艺划分为三个区、三个区的颜色分别为绿、黄、红色。 绿区为包装和灭菌区：其墙、顶、地以及作业人员的服装全为绿色。其洁净度为300,000级，温湿度要求也低。 黄区为片剂和针剂区：其墙、顶、地以及作业人员的服装全为黄色。其洁净度为100,000级，温、湿度精度要求较绿区高。 红区为针剂配料灌封区：其墙、顶、地和工作服全为红色，此区洁净度为10,000级（局部100级），温湿度精神为最高。 上班时，全部作业人员由一层走上二层在二层换鞋，更外衣回到一层，全部穿上绿色工 作服进入绿区，绿区的作业人员留在绿区，其余的作业人员再更成黄色工作服进入黄区，黄区的作业人员留在黄区，红区的作业人员再更成红色工作服进入红区。退出时反之，洁净工作服拿出清洗。 （十一），洁净室的静电和静电的消除： 1，静电的危害 a、静电产生电场能击穿电子和微电子产品造成废品；静电放电产生电磁波会引起电子仪器（计算机和控制设备）的误动作，放电产生火花可使感光材料曝光。 b、洁净室内静电的带电体，灰尘会依附在其表面，成为洁净室的污染源，影响洁净室的洁净度。 c、洁净室的静电聚集放电会诱发引起火灾和爆炸影响洁净室的安全。 2，静电的起因 由于某种原因引起电荷移动，正负电荷失去平衡，这样物体就带有静电，造成电荷移动的因素主要有： a、接触带电：其中还包括有磨擦带电、滚动带电、剥离带电、喷射带电等。 b、感应带电 c、流动带电 d、电晕带电 3，防静电措施 a、洁净室围护的防静电：即用高导电率材料来建造洁净室的围护（墙、顶、地）地面要采用由电阻值为104~106 Ω导静电材料或电阻值为106~109Ω的抗静电材料制作。主要有良好的接地。 墙和顶要采用表面电阻值为106~108 Ω的铝蜂窝或岩棉彩钢板等金属材料制作。并要有良好的接地。 b、人员的防静电：洁净室的作业人员要穿防静电的洁净工作服，在衣服的织物中加入金属纤维、碳素纤维等导电材料。必要时作业人员手腕上配带接地腕环。 c、生产的基本工艺允许时还可以用提高洁净室内空气的相对湿度的办法来消除静电。 （十二）洁净室的防火和防爆： 1，洁净室防火的重要性 2，洁净室的防火措施 建筑结构的材料应用不燃材料制作。洁净室的装修材料也应采用不燃材料制作。应严格按“洁净厂房设计规范”中5.2“防火和疏散”一节的要求及建筑防火规范要求执行。 （十三）洁净室的能耗和节能： 1，洁净室能耗特点 洁净室的空调净化系统运行能耗比一般舒适性空调运行能耗大得多，根据净化级别不同，洁净室空调净化能耗是一般舒适性空调能耗的1.5~15倍，其单位面积的耗电量为0.1~1.0 Kw/m2。 a、洁净室的主要能耗 下表为不同级别洁净室的能耗统计表。仅供参考。 不同级别洁净室的能耗统计表 项 目 一般空调 恒温空调 100,000级 10,000级 1,000级 100级 送风换气次数（次/h） 8~10 10~15 15~20 25~30 50~60 400~600 单位面积耗冷量（w/m2） 150~180 200~250 350~400 500~550 600~700 1000~1200 单位面积造价（元/ m2） 500~600 800~1000 1500~1800 2000~2200 2800~3000 10000~12000 单位面积耗电量（Kw/ m2） 0.06 0.1 0.16 0.25 0.30 1.0 注：单位面积耗电量指空调净化系统的耗电量（含制冷、制热、加湿、送风等） ④ 洁净室的冷负荷中的主要负荷是新风冷负荷，消除工艺设备和工艺过程产热的冷负荷和抵消风机和水泵发热的冷负荷，这三项负荷占总冷负荷的90%以上；而围护结构、照明和作业人员三项冷负荷不足总冷负荷的10%。 b、洁净室能耗大的原因 ① 净化送风量大。 ② 洁净室空调净化系统的新风量大，新风的热湿处理耗能也就很大。 ③ 洁净室中的工艺设备和工艺过程发热量大，而且连续两班制或三班制运行。因此，耗能量也大。 ④ 洁净室内生产的基本工艺的温、湿度及其精度要求很高、很严。也是能耗大的原因。 c、洁净室的节能 ① 严格控制洁净室的设计参数（洁净度和温湿度）和洁净室的面积尤其是10级、100级这样的高级别单向流洁净室的面积。因此，实事求是该高则高，不要无原则地提高要求。洁净室的面积不要留太大余地。尤其是高级别的洁净室面积尽量采用混合流以低级别洁净室代替高级别洁净室。尽量缩小10级、100级单向流洁净室的面积。 ② 严控洁净室的净化送风量，不要留太大的安全系数。控制监督施工质量，减少洁净室和管道的漏风量，加强保温减少冷损失，提高设备效率尽量利用变频措施以利节能。 ③ 严控新风量。尽量降低排风量，采取一定的措施提高排风效果，降低排风量以减少新风空调处理的能耗。 ④ 加强管理。减少跑、冒、滴、漏。充分的利用热回收和天然能源做为空调系统的预冷和预热。 （十四）洁净室的验收测试和在线，洁净室的验收测试 洁净室测试一般有三种状态。即空态、静态和动态。 空态：即洁净室的竣工状态。洁净室空调净化系统正常运行，室内无工艺设备和作业人员的状态。 静态：洁净室空调净化系统正常运行，工艺设备在无人操作情况下运行的状态。 动态：洁净室投产的正常工作状态。 验收测试一般为空态测试。有时按合同也会有静态和动态测试。验收测试的必测项目有：洁净度测试，温、湿度及其精度测试，洁净室正压测试和洁净室送风量、回风量和新风量的测试。除必须测项目以外，根据测试合同还可以有选测项目。例如：噪声、振动、风速、照度……。 验收测试报告是洁净室竣工验收的关键性文件。 2，洁净室的在线测试 由于字数限制，本章节略... （十六）空调系统的水管和风管的保温和防结露问题： 空调系统的水管和风管都要用绝热的保温材料来保温，其目的不外乎减少冷（热）损失以利节能，确保洁净厂房所要求的温度和相对湿度，其二是夏季防止空调风管和冷水管道结露滴水，一般洁净厂房的吊顶都是软吊顶（彩钢板或其他轻质板材）风管结露滴水流到吊项上会渗到洁净厂房内影响厂房的正常运行。如 这样的一个问题的解决主要从两方面入手，第一个是解决保温材料的性能和保温层的厚度；第二个是解决吊顶上管道技术夹层的通风问题。 第一是保温材料的性能和保温层的厚度问题：目前市场上销售的保温材料品种很多，保温性能也不一样，价格也高低悬殊，一般常用的不燃的保温材料有岩棉和玻璃棉等；常用难燃保温材料有聚乙烯（PEF）和橡塑等。当采用岩棉和玻璃棉作冷管道保温时，外面必须用铝箔作防潮层（保护层），如果防潮层没处理好或破损了，空气中的水气会结露进入纤维内部使保温材料失效。而聚乙烯和橡塑多为闭孔发泡有较好的保温隔潮性能，但市场上各供货商销售的聚乙烯和橡塑五花八门，为了低价竞争产品质量很难保证。 第二是吊顶上管道技术夹层的通风问题：实践证明吊顶上的管道技术夹层一定要有通风设施，越是无通风的闷顶结露现象越严重，有外窗的技术夹层靠近外窗的管道结露现象很少较轻，离外窗越远的深处结露现象越严重。吊顶上管道技术夹层的通风可采用自然通风（开外窗）也可采用机械排风自然进风的通风方式；如果技术夹层面积很大上述方案也不能处理问题时，还能够使用机械送风对面机械排风的通风方式。 本文作者：张利群，取材源自互联网。

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